電子工業用超純水設備

電子工業用超純水概述

半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用許多的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技能分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。

電子工業用超純水設備的工藝流程

電子工業用超純水設備的工藝大致分紅以下幾種：

1、選用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方法，其根本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精細過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精細過濾器→用水點

2、選用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方法，其根本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精細過濾器→原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精細過濾器→用水點

3、選用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的的方法，這是一種制取超純水的zui新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其根本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精細過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→

目前制備電子工業用超純水的工藝根本上是以上三種，其他的工藝流程大都是在以上三種根本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來?，F將他們的優缺陷分別列于下面：

1、*種選用離子交換樹脂其優點在于初出資少，占用的地方少，但缺陷就是需求經常進行離子再生，消耗許多酸堿，并且對環境有必定的損壞。

2、第二種選用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點為初投次比選用離子交換樹脂方法要高，但離子設備再生周期相對要長，消耗的酸堿比單純選用離子樹脂的方法要少許多。但對環境仍是有必定的損壞性。

3、第三種選用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)設備，這是目前制取超純水zui經濟，zui環保用來制取超純水的工藝，不需求用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么損壞性。其缺陷在于初出資相對以上兩種方法過于貴重。

一般由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精細過濾器等構成前期預處理體系、RO反滲透主機體系、離子交換混床(EDI電除鹽體系)體系等構成主要設備體系。水箱均設有液位操控體系、水泵均設有壓力保護設備、在線水質檢測操控儀表、電氣選用PLC可編程操控器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上選用引薦和客戶要求相統一的方法，使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。